1、同時觀察到左右兩(liang) 個(ge) 物方視場的像;
2、比較頭具有多種不同的可供觀察狀態:全部左圖像,全部右圖像,部分左右圖像,左右圖像重疊等;
3、 比較頭具有右側(ce) 放大率微調補償(chang) 機構。
技術參數
◆ 工作模式:恒高模式,恒電流模式
◆ 樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
◆ 掃描範圍:XY向1000nm,Z向200nm
◆ 掃描分辨率:XY向0.05nm,Z向0.01nm
◆ 樣品移動範圍:0~13mm
◆ 光學放大倍數4X,光學分辨率2.5um
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
◆ 掃描控製:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 數據采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運行環境:WindowsXP/7/8/10操作係統